本文利用椭偏光谱法测量了能量为200keV、剂量为2×10~(18)cm~(-2)的~(16)O~+注入Si以及退火样品.应用多层介质膜模型和有效介质近......

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本文比较了不同表面状态的薄膜和不同制备条件获得的薄膜的折射率和厚度椭圆偏振光法（以下简称椭偏光法）测量的结果，并分析了引起测量......