MTR膜层透反射测量仪

来源 :复旦学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lgwfzc
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一、引言无产阶级文化大革命以来,我国激光技术迅速发展,各种激光器件相继试制成功,并得到愈来愈广泛的应用。随着激光应用技术的发展,对激光器件和元件的质量提出了更高的要求。什么样反射率的谐振腔配合能够得到较高的功率输出?什么样的镀膜工艺才能得到反射率高、吸收散射小的膜片?为了解决这些问题,首先要有膜层测量仪器。过去,我们仅有测量透射率的装置,但测出透射率并不等于已知反射率,因为除了透射和反射外,还有膜层的吸收和散射。因此要研制可以直接测量反射率的仪器。如果能同时测 I. INTRODUCTION Since the Great Proletariat Cultural Revolution, the laser technology in our country has developed rapidly. Various laser devices have been trial-produced successfully and have been applied more and more widely. With the development of laser application technology, the quality of laser devices and components put forward higher requirements. What kind of reflectivity of the resonant cavity with high power output can be obtained? What kind of coating process to get high reflectance, scattering small scattering film? In order to solve these problems, we must first have film measuring instruments. In the past, we had only a device for measuring transmittance, but measuring the transmittance was not equal to the known reflectance, because besides the transmission and the reflection, there was also absorption and scattering of the film. Therefore, to develop a direct measurement of reflectivity of the instrument. If you can test at the same time
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