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XTJ-200旋转涂胶机是电镀法芯片凸点制造过程中的关键设备之一。XTJ-200旋转涂胶机主要是利用离心力的作用使滴在基片上的溶胶凝胶或其他胶液均匀涂在基片上，主要由机架、旋转系统、自动滴胶系统、旋涂盖、热板、加热盖及控制系统等组成。
XTJ-200旋转涂胶机的研制
【摘 要】
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XTJ-200旋转涂胶机是电镀法芯片凸点制造过程中的关键设备之一。XTJ-200旋转涂胶机主要是利用离心力的作用使滴在基片上的溶胶凝胶或其他胶液均匀涂在基片上，主要由机架、旋转
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年3期
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