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讨论了ＡｌＮ基片的薄膜金属化。通过试验，确定了有效的清洗方法及优化溅射参数。实验证明，ＴｉＷ－Ａｕ是ＡｌＮ的优良金属化体系。ＡｌＮ材料经激划片后出现导电物质，经稀盐酸处理可去掉导电物质。
AlN基片的薄膜金属化
【摘 要】
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讨论了ＡｌＮ基片的薄膜金属化。通过试验，确定了有效的清洗方法及优化溅射参数。实验证明，ＴｉＷ－Ａｕ是ＡｌＮ的优良金属化体系。ＡｌＮ材料经激划片后出现导电物质，经稀盐酸处理可去掉导电物质。
【机 构】
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西南电子设备研究所
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1999年5期
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