【摘 要】
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研究了四氯化钛、氮气、甲烷通入量对 PCVD 法沉积 TiN、TiCN 涂层硬度、沉积速率以及颜色的影响,进行了磨损试验。结果表明,不同色泽的 TiN 膜中,以金黄色 TiN 涂层硬度最高
【机 构】
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青岛化工学院等离子体表面技术研究所,青岛化工学院等离子体表面技术研究所,青岛化工学院等离子体表面技术研究所,青岛化工学院等离子体表面技术研究所,青岛化工学院等离子体表面技术研究所,
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研究了四氯化钛、氮气、甲烷通入量对 PCVD 法沉积 TiN、TiCN 涂层硬度、沉积速率以及颜色的影响,进行了磨损试验。结果表明,不同色泽的 TiN 膜中,以金黄色 TiN 涂层硬度最高,磨损量最小。
The effects of TiCl 4, nitrogen and methane on the hardness, deposition rate and color of TiN and TiCN coatings deposited by PCVD method were studied. The wear tests were carried out. The results show that the different color of TiN film, the golden yellow TiN coating the highest hardness, minimum wear.
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