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选用厚度为12．5μm的镍箔，采用激光微加工技术制备尺寸为2．8mm×1．4mm×0．0125mm的微夹钳。其每一对级联元件由一系列致动单元组成，而每个致动单元由一个制约器和两个呈半圆形的动作梁构成，其驱动原理是电热效应。运用有限元分析（FEA）仿真了微夹钳的动态性能，对其动态性能进行了实验测试。测试结果表明，当电压为1．9V时，最大位移量达到28．8μm，延迟时间小于200ms。