低压(低于10~(-3)帕)高效率离子枪

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本文讨论了工作压强为≤1.0×10~-3帕而特殊设计的超高真空离子枪。这种离子枪可在电压为100伏-10千伏,电流为1×10~-7安下对离子束进行质量分析。当压强≤1×10~-5帕, 0.2安/乇的氩离子可在距源45厘米的靶上聚焦成0.4厘米的离子束斑。该枪工作的本底压强 为4.0×10~-9帕, This article discusses the working pressure of ≤ 1.0 × 10 ~ -3 Pa specially designed ultra-high vacuum ion gun. The ion gun is capable of mass analyzing ion beams at voltages of 100 V to 10 kV at currents of 1 × 10 -7 amperes. Argon ions of 0.2 A / torr can be focused into a 0.4 cm ion beam spot at a target of 45 cm from the source at pressures ≤1 x 10 -5 Pa. The bottom of the gun work pressure is 4.0 × 10 ~ -9 Pa,
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