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研究了牺牲层制备的工艺过程。通过对牺牲层材料选择、牺牲层图形化及牺牲层固化等工艺技术的研究，获得了图形质量较好的牺牲层样品。建立了优化的牺牲层制备工艺制度，为探测器的后续研究奠定了基础。
非制冷焦平面探测器牺牲层制备工艺研究
【摘 要】
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研究了牺牲层制备的工艺过程。通过对牺牲层材料选择、牺牲层图形化及牺牲层固化等工艺技术的研究，获得了图形质量较好的牺牲层样品。建立了优化的牺牲层制备工艺制度，为探测器
【机 构】
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昆明物理研究所,云南大学
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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2006年1期
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