【摘 要】
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为了实现大视场周期性微结构缺陷检测，提出了一种基于光学傅里叶变换（FT）的大视场周期性微结构缺陷检测方法，并搭建相关实验系统进行实验验证。首先，对周期性微结构的像进行二维快
【机 构】
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北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.61605011);教育部创新团队项目
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为了实现大视场周期性微结构缺陷检测，提出了一种基于光学傅里叶变换（FT）的大视场周期性微结构缺陷检测方法，并搭建相关实验系统进行实验验证。首先，对周期性微结构的像进行二维快速傅里叶变换，获取周期性微结构的空间频谱；然后，选取一级衍射斑点中的一个斑点做快速傅里叶逆变换，得到周期性微结构的幅值分布图；最后，根据幅值分布图中的幅值突变位置确定缺陷的位置以及根据幅值突变的剧烈程度来定性地判断缺陷处的点偏离原来位置的位移。实验结果表明：该套系统的测量视场能达到1.5 mm1.5 mm，测量分辨率能达到0.5 μm以
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