【摘 要】
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为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248mn准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据.结果表明
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为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248mn准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据.结果表明,激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4.54xl03mj/mm2;随着激光能量的增加,刻蚀深度近似成对数增长,经线性拟合得到刻蚀深度随激光能量变化的公式;随着脉冲频率的增加,刻蚀深度近似成线性增长,经线性拟合得到刻蚀深度随频率变化的公式;且通道底面粗糙度随激光能量及脉冲频率的增加,呈增长趋势;激光的能量在400mJ~600mJ、脉冲频率在4Hz
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