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157nm激光被视为光刻和微加工的有力工具之一,其加工的表面质量强烈依赖于激光参数。针对157nm微加工的特点,提出建立人工神经网络......
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为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀性能的影响，采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料（石英玻璃和蓝宝石）进行微刻蚀试验，得到了理想的工......
为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248mn准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激......
