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日本光学计测研究室量子部，近年来利用以小型、大功率、稳定的光源著称的半导体激励YAG激光器，实现了干涉测量的新方法，该方法通过将半导体激励Nd：YAG激光(波长1064nm的红外光)
超精密定位载物台
【摘 要】
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日本光学计测研究室量子部，近年来利用以小型、大功率、稳定的光源著称的半导体激励YAG激光器，实现了干涉测量的新方法，该方法通过将半导体激励Nd：YAG激光(波长1064nm的红外光)
【出 处】
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长春光学精密机械学院学报：科技信息版
【发表日期】
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1998年2期
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