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离子束辅助沉积金红石型氧化钛薄膜的择优取向控制
离子束辅助沉积金红石型氧化钛薄膜的择优取向控制
来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:levmg2
【摘 要】
:
用惰性气体离子束辅助沉积技术,合成了金红石型氧化钛薄膜。薄膜生长过程中,离子束以45°角轰击薄膜。通过增加离子原子到达比γ,实现了金石型氧化钛薄膜从择优取向向择优取向
【作 者】
:
张峰
郑志宏
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室
【出 处】
:
材料研究学报
【发表日期】
:
1999年6期
【关键词】
:
离子束辅助沉积
氧化钛
择优取向
薄膜
金红石型
IBAD
titanium dioxide
preferred orientation
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用惰性气体离子束辅助沉积技术,合成了金红石型氧化钛薄膜。薄膜生长过程中,离子束以45°角轰击薄膜。通过增加离子原子到达比γ,实现了金石型氧化钛薄膜从择优取向向择优取向的转变。
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