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KLA—Tencor公司新近推出了Aleris^TM系列薄膜度量系统，该系列从Aleris 8500开始，是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。其它Aleris系列系统将在未来数月内以不同配置推出，以满足45nm节点及以下尺寸所有薄膜应用的性能与CoO要求。
KLA—Tencor新近推出的Aleris 8500薄膜度量系统用于45nm及更小尺寸厚度与成份的测定
【摘 要】
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KLA—Tencor公司新近推出了Aleris^TM系列薄膜度量系统，该系列从Aleris 8500开始，是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。其它Aleris系列系统将
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年12期
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