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Ag溅射参数对FePt/Ag薄膜取向生长的影响
Ag溅射参数对FePt/Ag薄膜取向生长的影响
来源 :山西师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a294104136
【摘 要】
:
采用有交互作用的正交实验方法对磁控溅射法在玻璃基片上制备FePt/Ag纳米双层膜Ag底层的溅射参数进行研究.通过直观分析,方差分析和XRD图分析,可以选出Ag底层诱导FePt层取向生长
【作 者】
:
范九萍
【机 构】
:
山西师范大学化学与材料科学学院
【出 处】
:
山西师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
FePt/Ag双层膜
溅射参数
正交实验
FePt/Ag doublerlayer films
sputtering factors
orthogonal
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采用有交互作用的正交实验方法对磁控溅射法在玻璃基片上制备FePt/Ag纳米双层膜Ag底层的溅射参数进行研究.通过直观分析,方差分析和XRD图分析,可以选出Ag底层诱导FePt层取向生长的最佳溅射条件,为FePt磁性层性能的进一步研究应用奠定了基础.
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