Aviza推出系列新型解决方案

来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kayeyoo

【摘要】

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日前,本刊通讯员在SemiconChina 2005展会上了解到,已通过生产验证的热处理系统领先供应商及原子层淀积(ALD)创新者Aviza Technology近期推出了一系列新型解决方案,它们分别

【作者】

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刘林发

【出处】

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电子与封装

【发表日期】

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2005年4期

【关键词】

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解决方案推出 TECHNOLOGY SEMICON 热处理系统半导体行业生产验证原子层供应商 ALD 处理器扩散炉第三代立式晶片

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日前,本刊通讯员在SemiconChina 2005展会上了解到,已通过生产验证的热处理系统领先供应商及原子层淀积(ALD)创新者Aviza Technology近期推出了一系列新型解决方案,它们分别是:半导体行业首款批量晶片处理ALD系统、第三代立式扩散炉--快速立式处理器500(RVP-500)和新型Satin TM 方案.

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