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声表面波马达
声表面波马达
来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yanhe100
【摘 要】
:
给出了超声马达的新进展—声表面波马达。由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点。本文
【作 者】
:
周广华
刘景全
杨斌
黄水华
【机 构】
:
上海交通大学
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
2004年06期
【关键词】
:
超声波马达
声表面波马达
多自由度
叉指电极
小型化
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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给出了超声马达的新进展—声表面波马达。由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点。本文给出了国内外声表面波马达的研究现状,并对其进一步的研究作了探讨。
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