阳极氧化工艺条件对氮化钽烧结体电性能的影响

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用纳米氮化钽粉末烧结制备了氮化钽烧结体,分析了烧结体的物相结构,研究了形成液种类、形成液浓度、温度、电流密度以及赋能电压等条件对氮化钽阳极氧化膜电性能的影响。结果表明,该烧结体是由纯氮化钽组成的,氮化钽阳极块体阳极氧化过程的最佳赋能工艺:磷酸溶液浓度0.01%,形成液温度55℃,电流密度40mA/g,形成电压小于16V。
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