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期刊论文
氮化硅镀膜工艺参数优化
氮化硅镀膜工艺参数优化
来源 :湖南文理学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:hzqingqingcao
【摘 要】
:
利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积给定折射率的氮化硅薄膜,通过正交实验法对衬底温度、NH3流量和射频功率3个对氮化硅薄膜沉积速率影响较大的工艺参数进行全局优化和
【作 者】
:
邱党社
于晓燕
周滨
黄凡
【机 构】
:
湖南华南光电(集团)有限责任公司
【出 处】
:
湖南文理学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2017年4期
【关键词】
:
PECVD
氮化硅薄膜
沉积速率
PECVD
SiNx
deposition rate
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利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积给定折射率的氮化硅薄膜,通过正交实验法对衬底温度、NH3流量和射频功率3个对氮化硅薄膜沉积速率影响较大的工艺参数进行全局优化和调整,得到了氮化硅镀膜的最优工艺参数。
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