【摘 要】
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在不同的蒸发速率下沉积300nm的Au薄膜，研究蒸发速率对薄膜表面形貌和性能的影响。随着蒸发速率的提高，薄膜的结构变得致密，晶粒尺寸和表面粗糙度减小。金薄膜方阻随着蒸发速率
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在不同的蒸发速率下沉积300nm的Au薄膜，研究蒸发速率对薄膜表面形貌和性能的影响。随着蒸发速率的提高，薄膜的结构变得致密，晶粒尺寸和表面粗糙度减小。金薄膜方阻随着蒸发速率提高无明显变化，而方阻均匀性变差，但在可接受的范围内。但蒸发速率过高会引起金属大颗粒增多。因此，选用适合的蒸发速率对Au膜质量有很大影响。文中的初步结果可对改善电容特性和提升器件性能提供参考。
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