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论述集成无源元件的重要作用,简介集成电阻器、集成电容器、集成电感器技术.系统探讨了多层金属化工艺、主要衬底材料、工艺集成规则、集成无源模块组装工艺、设计方法及设计实例等关键工艺技术.
世界三大集成元件新产品工艺技术研发动态
【摘 要】
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论述集成无源元件的重要作用,简介集成电阻器、集成电容器、集成电感器技术.系统探讨了多层金属化工艺、主要衬底材料、工艺集成规则、集成无源模块组装工艺、设计方法及设计
【机 构】
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信息产业部794厂
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2002年6期
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