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提出并利用一种新颖的无掩模腐蚀技术,针对以往硅体微机械加工的电容力敏器件特性的缺陷,从结构入手加以改进.分别制作了加速度对称梁-质量块结构和单边推挽压力结构,并取得了预期的结果.文中给出了理论分析和实验验证.
无掩模腐蚀工艺对硅电容力敏结构的改进
【摘 要】
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提出并利用一种新颖的无掩模腐蚀技术,针对以往硅体微机械加工的电容力敏器件特性的缺陷,从结构入手加以改进.分别制作了加速度对称梁-质量块结构和单边推挽压力结构,并取得
【机 构】
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复旦大学电子工程系传感器研究室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1996年01期
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