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建立了平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型.利用根据这些模型编制的计算程序计算了基板表面膜层厚度分布与蒸发源位置、蒸发源发射特性、夹具高度、行星轨半径以及行星夹具的倾角之间的关系.并得到了一组典型结果.
行星夹具膜厚均匀性计算
【摘 要】
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建立了平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型.利用根据这些模型编制的计算程序计算了基板表面膜层厚度分布与蒸发源位置、蒸发源发射特性、夹具高度、行星轨半径以及
【机 构】
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中科院光电技术研究所成都双流350信箱
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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