【摘 要】
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采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅薄膜太阳电池,指出了气体总流量和背反射电极的类型对电池性能参数的影响.电池的I-V测试结果表明:随反应气体总流量
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所; 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 天津300071; 天津300071;
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000028202,G2000028203);国家自然科学基金(批准号:60506003);天津市自然科学基金(批准号:05YFJMJC01600);科学技术部国际合作计划(批准号:2005197);教育部新世纪优秀人才支持计划资助的课题.~~
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采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅薄膜太阳电池,指出了气体总流量和背反射电极的类型对电池性能参数的影响.电池的I-V测试结果表明:随反应气体总流量的增加,对应电池的短路电流密度、开路电压和填充因子都有很大程度的提高,结果使得电池的光电转换效率得以提高.另外,ZnO/Ag/Al背反射电极能明显提高电池的短路电流密度,进而也提高了电池的光电转换效率.对气体总流量和背反射电极类型影响电池效率的原因进行了分析.
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