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DLC膜高能C＋束辐照效应的初步研究

来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuxinghui_1975
【摘 要】
：
用114keV的C<sup>+</sup>束,在2&#215;10<sup>16</sup>ions/cm<sup>2</sup>和1&#215;10<sup>17</sup>ions/cm<sup>2</sup>两种剂量下对双离子束溅射淀积DLC膜（即类金刚石碳膜）
【作 者】
：
王维洁 韩培刚 王天民 黄良甫 刘定权 
【机 构】
：
兰州大学,兰州物理研究所,兰州物理研究所兰州730000,兰州730000,兰州730000
【出 处】
：
核技术
【发表日期】
：
1992年3期
【关键词】
：
碳 结构表征 DLC膜 辐照 DLC films C+ irradiation Structural characterization 
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用114keV的C<sup>+</sup>束,在2×10<sup>16</sup>ions/cm<sup>2</sup>和1×10<sup>17</sup>ions/cm<sup>2</sup>两种剂量下对双离子束溅射淀积DLC膜（即类金刚石碳膜）进行了辐照。基片为玻璃。辐照过程中基片温度低于80℃。用红外透射光谱、Raman光谱及其拟合以及电阻率测量等手段对膜层进行
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