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提出了一种应用晶体光学原理的新型物体几何形貌检测方法 ,介绍了新方法涉及到的晶体偏光干涉的原理 ,以及基于这个原理的形貌信号检测方法 ,并通过实验得到新方法的测量精度约为 5 μm ,测量范围约为 7mm ,且具有较好的动态特性
偏光干涉在物体几何形貌检测中的应用
【摘 要】
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提出了一种应用晶体光学原理的新型物体几何形貌检测方法 ,介绍了新方法涉及到的晶体偏光干涉的原理 ,以及基于这个原理的形貌信号检测方法 ,并通过实验得到新方法的测量精度约为 5 μm ,测量范围约为 7mm ,且具有较好的动态特性
【机 构】
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天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2002年04期
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