【摘 要】
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Z-200离子束增强沉积装置能生产硬而耐蚀的薄膜涂层,这种涂层对基体的粘结性比一般的化学气相沉积(CVD)或离子束外延生产的涂层优良。该装置能离子束注入、离子束混合和离子
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Z-200离子束增强沉积装置能生产硬而耐蚀的薄膜涂层,这种涂层对基体的粘结性比一般的化学气相沉积(CVD)或离子束外延生产的涂层优良。该装置能离子束注入、离子束混合和离子束增强沉积,它的典型应用是金属和半导体工业中的薄膜金
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