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利用射频辉光放电法,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式,制备了μc-Si:H/a-Si:H多层膜,低角度X射线衍射(LAXRD)测试表明,这 种多层膜具有良好的周期性结构。观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系,发现其吸收边随着a-Si:H层的减薄而蓝移,低温下的电导激活能Ea随着a-Si:H层的减薄而减小。