【摘 要】
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本文采用准分子激光加工方法,选择不同的工艺参数对Al2O3陶瓷材料试件进行加工,通过表面轮廓仪测量表面微观形貌,并计算其表面轮廓高度均方根值Rq.采用二次多项式拟合方法分
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家自然科学基金，江西省自然科学基金
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本文采用准分子激光加工方法,选择不同的工艺参数对Al2O3陶瓷材料试件进行加工,通过表面轮廓仪测量表面微观形貌,并计算其表面轮廓高度均方根值Rq.采用二次多项式拟合方法分析激光加工工艺参数对表面形貌的影响,即放大器电压、激光脉冲频率、激光扫描速度等工艺参数对表面轮廓高度均方根值Rq的影响进行拟合.结果表明,Rq值随着放大器电压、激光脉冲频率增大而增大,随激光扫描速度增大而减小,并且激光加工工艺参数对表面形貌的影响程度不同,由大到小依次为激光扫描速度、放大器电压、激光脉冲频率.并利用罚函数内点法寻优方法,在
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