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离子束增强沉积掺杂氧化钒薄膜的最佳退火条件
离子束增强沉积掺杂氧化钒薄膜的最佳退火条件
来源 :长江大学学报(自科版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:jerklie198091
【摘 要】
:
用离子束增强沉积方法制备掺杂Ar和W的VO2多晶薄膜,明显改变了VO2薄膜的相变温度。试验发现,薄膜存在一个形成VO2结构的临界结晶温度,该温度随薄膜制备时沉积条件的不同而改变。
【作 者】
:
谢建生
李金华
袁宁一
【机 构】
:
江苏工业学院信息科学系
【出 处】
:
长江大学学报(自科版)
【发表日期】
:
2005年10期
【关键词】
:
氧化钒薄膜
退火
离子束增强沉积
vanadium oxide filmsannealingion beam enhanced deposition.
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用离子束增强沉积方法制备掺杂Ar和W的VO2多晶薄膜,明显改变了VO2薄膜的相变温度。试验发现,薄膜存在一个形成VO2结构的临界结晶温度,该温度随薄膜制备时沉积条件的不同而改变。选择适当的杂质和退火条件可以将VO2薄膜的相变温度降低到室温附近,获得较高室温电阻一温度系数的薄膜。
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