【摘 要】
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混合微电路技术的飞速发展对传统封装材料提出了更新、更高的要求.尤其是像柯伐这种热膨胀系数低的传统封装材料,已不能满足大功率GaAs和Si集成电路器件的要求.目前国际上出
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混合微电路技术的飞速发展对传统封装材料提出了更新、更高的要求.尤其是像柯伐这种热膨胀系数低的传统封装材料,已不能满足大功率GaAs和Si集成电路器件的要求.目前国际上出现一种新型封装材料,即AISiC金属基体复合物(MMC)材料,以其优越的物理特性及电性能成为高级混合微电路封装的理想材料.本文通过与传统封装材料的对比,展示了这种新型封装材料的优越性、并阐述了它的制造工艺及其应用前景.
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