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在适当温度退火时，中子嬗变掺杂的ＣＺＳｉ中产生的大量亚稳态辐照缺陷在奶火过程中会增强氧的外扩散在沉淀。根据ＣＺＳｉ中热施主与电阻率的关系，利用扩展电阻（ＳＲ－１００Ｃ）法测量了硅片退火后氧的纵向分布形式，发现辐照缺陷的存在影响了硅中氧的扩散与沉淀行为。
NTDCZSi中氧的沉淀与吸除
【摘 要】
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在适当温度退火时，中子嬗变掺杂的ＣＺＳｉ中产生的大量亚稳态辐照缺陷在奶火过程中会增强氧的外扩散在沉淀。根据ＣＺＳｉ中热施主与电阻率的关系，利用扩展电阻（ＳＲ－１００Ｃ）法测量了硅片退火后氧的纵向分布
【机 构】
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河北工业大学材料研究中心
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1998年6期
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