【摘 要】
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最近,我们试用氮化硼园片作为硼扩散源,经实验证明,结果良好,无论在结特性、表面电阻的均匀性和重复性等方面,均比其他硼扩散源优越。我们采用的氮化硼园片的直径为35毫米,厚度2毫米,纯度约99.999%。考虑到在高温下（1000℃以上）氮化硼园片与硅片和石英相粘,以及氮化硼园片的热膨胀系数与石英的热膨胀系数的不匹配性,设计了层式扩散舟。氮化硼园片放置在扩散舟中间一层,使氮化硼园片与硅片之间保持
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<正> 最近,我们试用氮化硼园片作为硼扩散源,经实验证明,结果良好,无论在结特性、表面电阻的均匀性和重复性等方面,均比其他硼扩散源优越。我们采用的氮化硼园片的直径为35毫米,厚度2毫米,纯度约99.999%。考虑到在高温下（1000℃以上）氮化硼园片与硅片和石英相粘,以及氮化硼园片的热膨胀系数与石英的热膨胀系数的不匹配性,设计了层式扩散舟。氮化硼园片放置在扩散舟中间一层,使氮化硼园片与硅片之间保持一定间距。硅片只与石英舟接触,而氮化硼园片则不与石英舟接触,这种层式扩散
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