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<正> 近年来,X射线聚光技术正应用于X射线蚀刻、微机械和各种分析领域.X射线光学系统的最大课题是研制具有亚纳米级表面粗糙度和亚微米形状精度的象差小的非球面反射镜.过去所使用的反射镜形状是柱面或者有两个曲率的圆环面,其缺点是象差大.本文以硬质脆性材料为对象,介绍大型、小象差的非轴对称、非球面离轴椭球的超精