【摘 要】
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为了得到相变温度低且性能优越的智能窗光学材料,基于时域有限差分法模拟计算了不同结构的VO_2纳米周期点阵相变前后的光学特性,优选出最佳的VO_2纳米周期点阵结构.采用直流
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代光学系统重点实验室,上海电力学院计算机与信息工程学院
【基金项目】
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国家“863”计划（2006AA03Z348）, 教育部科学技术研究重点项目（207033）, 上海市科学技术委员会科技攻关计划（06DZ11415）, 上海市教育委员会科技创新重点项目（10ZZ94）, 上海市领军人才计划资助项目~~
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为了得到相变温度低且性能优越的智能窗光学材料,基于时域有限差分法模拟计算了不同结构的VO_2纳米周期点阵相变前后的光学特性,优选出最佳的VO_2纳米周期点阵结构.采用直流磁控溅射和后退火工艺在玻璃衬底上制备VO_2薄膜,再利用掩膜光刻的方法制备VO_2纳米周期点阵结构,测试其组分结构,反射和透过率曲线.结果表明,填充比为0.74的圆形纳米周期点阵的相变温度有效降低了约25℃,在波长为1700 nm处的透过率改变量达到39%,透过率整体高于VO_2薄膜,呈现出良好的相变光学特性,说明通过调控VO_2纳米周期
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