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采用三种实验装置(介质阻挡放电装置、空心阴极放电装置和彭宁放电装置)分别测量了不同压强范围内氦等离子体的发射光谱。通过对氦等离子体发射光谱的分析，已观察到一个共同的特点，就是在三种放电条件下产生的氦等离子体中3^1P1→2^1S0的谱线强度总是最强，可以推测亚稳态氦原子的含量相当显著，但不同的装置也有不同的特点，介质阻挡放电装置能够产生准辉光放电，谱线中氦原子的谱线强度很低，而空心阴极放电与彭宁放电装置能够产生稳定均匀的等离子体，且发射足够强的光辐射。我们已对所拍摄的光谱的谱线都进行了辨认，所有结果表明原