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基于光激活物质空间迁移长度的概念，推导出方形反应空间中到达基片上单位面积的光激活物质总数的解析表达式，对光化学汽相沉积中淀积速率和基片位置的关系进行了模拟分析，模拟结果同实验结果符合良好。
光化学汽机沉积中学激活物质的理论解析
【摘 要】
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基于光激活物质空间迁移长度的概念，推导出方形反应空间中到达基片上单位面积的光激活物质总数的解析表达式，对光化学汽相沉积中淀积速率和基片位置的关系进行了模拟分析，模拟结
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2000年1期
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