【摘 要】
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目的基于低场输运模型,对4H-和6H-碳化硅电子霍耳迁移率和霍耳散射因子进行了理论计算。方法计算中采用了各向同性弛豫时间近似法,考虑了对其低场输运有着重要影响的声学波形
【机 构】
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西安电子科技大学通信工程学院综合业务网国家重点实验室
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目的基于低场输运模型,对4H-和6H-碳化硅电子霍耳迁移率和霍耳散射因子进行了理论计算。方法计算中采用了各向同性弛豫时间近似法,考虑了对其低场输运有着重要影响的声学波形变势散射、极化光学声子散射、谷间声子形变势散射、电离杂质散射以及中性杂质散射。结果得到了不同散射机制对于碳化硅电子霍耳迁移率的影响。结论该研究表明:中性杂质散射在低温高掺杂时是控制电子霍耳迁移率变化的主导因素,而在高温区,电子霍耳迁移率则主要受谷间声子散射等散射机制控制。
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