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本文分析了InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)微波器件研制中的一些重要问题,优化了发射结阻挡层厚度,解决离子注入实现器件隔离的问题,设计制备出发射极尺寸为(3μm×40μm)×3的HBT单管,并进行了测试。
InGaP/GaAs HBT器件研究中的几个重要问题
【摘 要】
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本文分析了InGaP/GaAs异质结双极晶体管(HBT)微波器件研制中的一些重要问题,优化了发射结阻挡层厚度,解决离子注入实现器件隔离的问题,设计制备出发射极尺寸为(3μm×40μm)
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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中国电子科学研究院学报
【发表日期】
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2006年03期
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