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本文介绍无油超高真空系统的主抽气系之──冷阴极溅射离子泵的发展 和应用，包括泵的工作原理、结构、性能、使用和维护等，同时介绍了无油真 空系统的前级泵。
无油超高真空系统的发展和应用
【摘 要】
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本文介绍无油超高真空系统的主抽气系之──冷阴极溅射离子泵的发展 和应用，包括泵的工作原理、结构、性能、使用和维护等，同时介绍了无油真 空系统的前级泵。
【出 处】
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真空技术报导
【发表日期】
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1974年04期
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