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Si雪崩冷阴极的电子发射特性
Si雪崩冷阴极的电子发射特性
来源 :福州大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhouyulong456
【摘 要】
:
采用离子注入和快速退火法可制备Si浅p-n结阵列,通过真空清洁处理和氧激活后制成阵列式Si浅p-n结雪崩冷阴极,其最高电子发射率效率为16%,本文介绍阵列式Si雪崩冷阴极的制备方法,给出了Si冷阴极的雪
【作 者】
:
郭太良
王树程
【机 构】
:
福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
:
福州大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
雪崩电子发射
冷阴极
稳定性
阴极电子学
arrayed shallow p-n junctions
avalanche electron emission
c
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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采用离子注入和快速退火法可制备Si浅p-n结阵列,通过真空清洁处理和氧激活后制成阵列式Si浅p-n结雪崩冷阴极,其最高电子发射率效率为16%,本文介绍阵列式Si雪崩冷阴极的制备方法,给出了Si冷阴极的雪崩电子发射特性,讨论了影响发射稳定性的主要因素。
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