氨处理抑制SiO2/ZrO2薄膜膜间渗透

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以正硅酸乙酯和丙醇锆为原料,用溶胶凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO,样品2镀完SiO2经氨处理后再镀ZrO2。研究表明,φ和△两个椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合,进而发现氨处理可有效抑制SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透,氨处理后渗透层减少近45nm。利用激光束对两种样品进行了损伤阈值的测试,用光学显微镜观察损伤形貌,结果发现两者损伤阈值分别为14.8和15.03J/cm^2,损伤形貌均为熔融型。
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