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铁电薄膜与器件的电特性及辐射效应
铁电薄膜与器件的电特性及辐射效应
来源 :上海微电子技术和应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hades173053
【摘 要】
:
本文详细讨论了铁电电容和器件的电极化特性的研究方法及其电极化特性的辐照效应。
【作 者】
:
高剑侠
林成鲁
【出 处】
:
上海微电子技术和应用
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
铁电薄膜
极化
辐照
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本文详细讨论了铁电电容和器件的电极化特性的研究方法及其电极化特性的辐照效应。
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