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初应力对FBAR厚度剪切模态谐振特性的影响

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dusun

【摘 要】

：

研究了含初应力压电薄膜体声波谐振器（FBAR）厚度剪切振动的谐振特性.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程.然后根据边界条

【作 者】

：

黄德进 罗昕逸 王骥 

【机 构】

：

宁波大学机械工程与力学学院

【出 处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2013年6期

【关键词】

：

薄膜体声波谐振器 初应力 谐振频率 带宽 有效机电耦合系数 FBAR initial stress resonance frequency bandwidth 

【基金项目】

：

国家自然科学基金重点资助项目（10932004）,浙江省重点科技创新团队基金资助项目（2011R09025-02）,浙江省自然科学基金资助项目（LY12F01015）,浙江省教育厅重点科研基金资助项目（Z201018143）,宁波市自然科学基金资助项目（2011A610183）

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研究了含初应力压电薄膜体声波谐振器（FBAR）厚度剪切振动的谐振特性.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程.然后根据边界条件,求出问题的解,得到了串联和并联谐振频率,并讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响.给出了具体的数值算例,所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义.

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