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2015年6月16日～17日，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称“02重大专项”）主管部门对北京有色金属研究总院牵头承担并由有研半导体材料有限公司实施的“硅材料设备应用工程”项目进行了正式验收。与会专家一致同意项目及七个课题通过验收，并评价为“优秀”分数。
“02重大专项”之“硅材料设备应用工程”项目通过验收
【摘 要】
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2015年6月16日～17日，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称“02重大专项”）主管部门对北京有色金属研究总院牵头承担并由有研半导体材料有限公司实施的
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年8期
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