【摘 要】
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我们在用上海纸品二厂生产的GP3,5E型高频加热装置改装的30兆赫电感耦合等离子体光源工作时,发现在等离子体“点燃”后,发生一种很响的、频率较稳(约为数百赫)的声音,对操作
【机 构】
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中国科学院吉林应用化学研究所,中国科学院吉林应用化学研究所,中国科学院吉林应用化学研究所,
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我们在用上海纸品二厂生产的GP3,5E型高频加热装置改装的30兆赫电感耦合等离子体光源工作时,发现在等离子体“点燃”后,发生一种很响的、频率较稳(约为数百赫)的声音,对操作者及在附近房间里的同志都有影响。我们用示波器发现这时的高频波形是被调制的,在我们的工作条件下调制深度约为50％。由于该装置的高频振荡管的阳极直流电源用的是可控硅交流侧调压的三
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