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光学薄膜领域应用反应磁控溅射技术已有多年,反应磁控溅射对提高薄膜质量及降低工艺成本的作用,已受到业界的重视,正在进入工业生产之中.对光学薄膜领域中反应磁控溅射技术中的相关问题进行了评述,提出了一种可能的方案.
光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展
【摘 要】
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光学薄膜领域应用反应磁控溅射技术已有多年,反应磁控溅射对提高薄膜质量及降低工艺成本的作用,已受到业界的重视,正在进入工业生产之中.对光学薄膜领域中反应磁控溅射技术中
【机 构】
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北京电影机械研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2004年2期
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