【摘 要】
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研究了交替型相移掩模及离轴照明对65 nm分辨率ArF浸没式光刻的影响.在3/4环形照明和3/4四极照明方式下,分别选用传统掩模和交替型相移掩模,研究65 nm线宽的密集线条、半密集
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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研究了交替型相移掩模及离轴照明对65 nm分辨率ArF浸没式光刻的影响.在3/4环形照明和3/4四极照明方式下,分别选用传统掩模和交替型相移掩模,研究65 nm线宽的密集线条、半密集线条、孤立线条在较大的曝光系统参数范围内,对光刻工艺窗口的改善.并对在不同的照明方式、掩模结构下获得的工艺窗口进行了比较.结果表明:①在较大焦深(DOF)范围内,满足光刻性能要求可以有较大范围的曝光系统参数配置;②相对于传统照明和传统掩模,采用交替型相移掩模或者离轴照明,焦深均可提高100%～150%.
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