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用X衍射测定了离子束混合所形成铂硅化物的衍射线宽,并计算出了其晶粒大小.发现混合时的注入剂量和后退火温度都会影响其晶粒大小.
X射线衍射对离子束混合形成硅化物品粒度的研究
【摘 要】
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用X衍射测定了离子束混合所形成铂硅化物的衍射线宽,并计算出了其晶粒大小.发现混合时的注入剂量和后退火温度都会影响其晶粒大小.
【机 构】
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北京师范大学测试中心,北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学测试中心
【出 处】
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北京师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1989年A04期
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