位移检测传感器系统的设计与分析

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mmtt001
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依据三角测量原理,设计了一款采用位敏探测器(PSD)作为敏感元件,半导体激光器作为发光器件的位移检测传感器系统。由于PSD输出的是微弱光电流信号,电路的设计以及发光元件的选择极大地关系到该系统的性能。分析了采用不同电路元件参数的组合对该传感器系统在抗干扰能力,测量精度方面的影响,以及采用不同发光器件时传感器系统的性能差异,并由以上分析结果设计出一款位移检测传感器系统,最后通过实验测试了该传感器系统的性能。 According to the principle of triangulation, a displacement detection sensor system using a sensitive detector (PSD) as a sensing element and a semiconductor laser as a light emitting device is designed. Since the PSD output is a weak photocurrent signal, the design of the circuit and the choice of the light-emitting element greatly affect the performance of the system. The influence of the combination of parameters of different circuit components on the anti-jamming capability and measurement accuracy of the sensor system and the performance difference of the sensor system when using different light-emitting devices are analyzed. A displacement detection sensor system is designed based on the above analysis results. Finally, the performance of the sensor system was tested experimentally.
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